本文图片来源 :阿自倍尔
对于工业制造企业而言,能否精准检测生产过程中的液体泄漏、液位及温度等过程参数的变化,直接关系着生产安全、产品质量以及运营效率。
当前,各企业采用传感器进行过程控制中的检测,希望实现快速且准确检测的同时,还需要兼顾维护的便利性,这也是自动化产品提供商所需要解决的课题。
01 高质量生产面临的三个课题
整个制造业中,半导体制程对于实时且准确的检测有着更为严苛的需求,也因其复杂的制造过程,对产品的适应性提出了更高要求。
生产过程中,化学药液的泄露,液位以及温度的变化,都会对生产造成不可预估的风险,因此需要针对这些情况的发生,做好必要的防范措施。
● 针对半导体热处理工艺中的冷却装置应用需求:
1. 循环液液位检测
2. 循环液漏液检测
● 针对半导体清洗、湿法刻蚀工艺中应用需求:
1. IPA液位检测
2. 酸碱性药液漏液检测
3. 腐蚀药液的温度测量
● 针对涂布显影、干法刻蚀以及镀膜工艺中应用需求:
1. 光刻胶液位检测
2. 光刻胶漏液检测
3. 循环液漏液检测
02 我们的解决对策:提供符合客户应用预期的产品
近期,致力于半导体行业自控产品研发的领军企业——阿自倍尔,上线了全新液位检测产品,以应对半导体生产过程中的液体泄漏、液位及温度等难题:
● 01 光电式漏液检测开关 型号HPQ-D
一款采用光电原理的漏液检测开关
不依赖于液体导电率,无需调节灵敏度以及用于间接检测漏液的吸纸等配件。漏液检测后的恢复作业,只需擦去原泄露液体即可迅速地再次进行检测。
● 02 耐化学品温度传感器 型号YYQZ
一款适合于湿制程处理槽及
配管内部温度管理用的传感器
备有测温范围0~200°C(FEP)和0~250°C(PFA)两种产品,采用聚四氯乙烯树脂成形加工而成,可减少结露造成的元件故障。
● 03 光电式放大器内置液位开关 型号HPQ-T
一款配管安装放大器内置型液位检测开关
利用了光折射方式,充分确保了入遮光的光亮差,适用于光穿透率低的液体(如光刻胶、废液等),以及普通液体的液位检测,无需调试可轻松检测液位。
03 应用场景广泛,满足多样化需求
水或药液泄露的快速检测
复杂工况下的液位准确检测
酸碱药液环境下的温度稳定检测
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